半导体产业是数字经济的核心基石,其高质量发展离不开关键材料与核心设备的精准把控。为进一步规范行业检测与生产流程,填补国内技术标准空白,近日,《半导体设备用石英玻璃表层杂质检测办法》等四项团体标准审议会顺利召开。行业协会领导、龙头企业技术代表齐聚一堂,围绕标准科学性、适用性、前瞻性展开深入研讨、严格把关,为四项团体标准的完善与发布落地凝聚共识、指明方向。
聚焦产业痛点,锚定关键检测需求
本次会议由中国电子材料行业协会石英材料分会主办,浙江奥博石英科技股份有限公司协办完成;以《半导体设备用石英玻璃表层杂质检测办法》为核心,明确检测项目、方法、判定准则与数据规范。
严谨审议打磨,凝聚行业专业共识
审议会上,标准编制组就四项团体标准的编制背景、技术路线、核心条款及编制过程进行详细汇报。与会专家结合研发、生产、检测、应用等全链条经验,对标准文本逐条审议、充分论证。
以标准筑基,赋能半导体产业自主可控
以标准引领质量,以品质支撑“芯”程。未来,随着四项团体标准落地推广,我国半导体设备用石英玻璃领域的标准化、规范化、高端化水平将持续提升,为半导体产业高质量发展、实现科技自主自强筑牢材料根基。